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| 测量仪器名称 | 准 确 度(等级) | 测 量 范 围 | 计量单位 | 参考价格 | 备注 | 最长检定周期 |
| 干涉显微镜 | δ=1% | （0.08～50）μm | 台 | 100 | 1年 | |
| 水平仪检定器 | 2 mm/m | 台 | 250 | 1年 | ||
| 水平仪零位检定器 | 0.001 mm/ m | 10 mm/ m | 台 | 250 | 1年 | |
| 投影仪 | 0．5μm | 100mm | 台 | 280 | 1年 | |
| 接触式干涉仪 | (0.05～0.2)μm | （0～150） mm | 台 | 400 | 1年 | |
| 平面等厚干涉仪 | 0.02μm | （0～200） mm | 台 | 235 | 1年 | |
| 平行平晶 | 一系列 | 块 | 65 | 1年 | ||
| 平面平晶 | 一、二级 | ≤D60 mm | 块 | 55 | ＞D100 mm每增加10mm加收7.5元 | 1年 |
| 中精度测角仪 | 2″～5″ | 0º～360º | 台 | 280 | 1年 | |
| 低精度测角仪 | 5″以下 | 0º～360º | 台 | 250 | 1年 | |
| 光学分度头 | 1″～3″ | 0º～360º | 台 | 250 | 1年 | |
| 光学分度头 | ≥3″ | 0º～360º | 台 | 250 | 1年 | |
| 多齿分度台 | 0.2″ | 0º～360º | 台 | 300 | 1年 | |
| 圆度仪 | 0.05μm、(2~4)级 | （1～500mm） | 台 | 1300 | 1年 | |
| 自准直仪 | 0″～10″ | 台 | 300 | 1年 | ||
| 光学象限（倾斜）仪 | 10″ | 0º～360º | 台 | 150 | 1年 |
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